Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2011 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3367-5 KITopen-ID: 170085297 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Seiten | 712 |
Erscheinungsvermerk | Mikrosystemtechnik-Kongress, Darmstadt, 10.-12.Oktober 2011 Proc.auf CD-ROM Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2011 |