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Microfabrication using the deep x-ray lithography: a contribution to process control

Meyer, P.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2011
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-0-9553082-8-4
KITopen ID: 170085715
HGF-Programm 43.01.06; LK 01
Seiten 172-176
Erscheinungsvermerk Spaan, H. [Hrsg.] Proc.of the 10th Internat.Conf.of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Delft, NL, May 31 - June 4, 2010 Vol.2 Bedford : euspen Headquarters, 2010
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