Microfabrication using the deep x-ray lithography: a contribution to process control
Meyer, P.
; Schulz, J.
; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2011 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-9553082-8-4 KITopen-ID: 170085715 |
| HGF-Programm | 43.01.06 (POF II, LK 01) Applikations-u.Transferlaboratorien |
| Seiten | 172-176 |
| Erscheinungsvermerk | Spaan, H. [Hrsg.] Proc.of the 10th Internat.Conf.of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Delft, NL, May 31 - June 4, 2010 Vol.2 Bedford : euspen Headquarters, 2010 |