High precision positioning of plasmonic nanoparticle based on damascence process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4673-2198-3 KITopen-ID: 170088126 |
| HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
| Erschienen in | 12th Internat. Conf.on Nanotechnology (IEEE Nano 2012), Birmingham, GB, August 20-23, 2012 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 322-325 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Proc.publ.online |
| Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |