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Originalveröffentlichung
DOI: 10.1109/NANO.2012.6321960

High precision positioning of plasmonic nanoparticle based on damascence process

Häringer, D.; Chen, G.; Jakobs, P.; Yarema, M.; Heiss, W.; Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2012
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-4673-2198-3
KITopen ID: 170088126
HGF-Programm 43.13.01; LK 01
Erschienen in 12th Internat. Conf.on Nanotechnology (IEEE Nano 2012), Birmingham, GB, August 20-23, 2012
Verlag IEEE, Piscataway (NJ)
Seiten 322-325
Bemerkung zur Veröffentlichung Proc.publ.online
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