Variation of the use of UV-LIGA mold inserts for the fabrication of single polymeric- and metallic microparts
Heneka, J. 1,2; Prokop, J. 1; Piotter, V. 1; Guttmann, M. 2; Hanemann, T.
1; Plewa, K. 1
1 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
1; Plewa, K. 11 Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
2 Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2012 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-0-9566790-0-0 KITopen-ID: 170089037 |
| HGF-Programm | 43.13.02 (POF II, LK 01) Replication |
| Erschienen in | 12th Internat. Conf. of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), Stockholm, S, June 4-8, 2012. Vol.2 |
| Verlag | European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen) |
| Seiten | 92-95 |
| Nachgewiesen in | Scopus |