| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4673-5981-8 KITopen-ID: 170093063 |
| HGF-Programm | 43.12.03 (POF II, LK 01) Reliability of nanomaterials |
| Erschienen in | Proceedings of the 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), Barcelona, E, June 16-20, 2013 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 2803-2806 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |