Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4673-5981-8 KITopen-ID: 170093063 |
HGF-Programm | 43.12.03 (POF II, LK 01) Reliability of nanomaterials |
Erschienen in | Proceedings of the 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2013), Barcelona, E, June 16-20, 2013 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 2803-2806 |
Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |