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Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3555-6
KITopen ID: 170093087
HGF-Programm 43.16.01; LK 02
Seiten 306-308
Erscheinungsvermerk Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2013
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