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Neues LIGA2.X Verfahren zur industriellen Fertigung von hochpräzisen Kunststoff-Mikrobauteilen

Heneka, J.; Guttmann, M.; Hanemann, T.; Plewa, K.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3555-6
KITopen-ID: 170093087
HGF-Programm 43.16.01 (POF II, LK 02)
Erschienen in Von Bauelementen zu Systemen: MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013
Verlag VDE-Verlag, Berlin
Seiten 306-308
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