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Microstructure analysis of ALD Bi₂Te₃/Sb₂Te₃ thermoelectric nanolaminates

Nminibapiel, D.; Zhang, K.; Tangirala, M.; Baumgart, H.; Chakravadhanula, V. S. K.; Kübel, C. ORCID iD icon; Kochergin, V.


Zugehörige Institution(en) am KIT Helmholtz-Institut Ulm (HIU)
Institut für Nanotechnologie (INT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2013
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-62332-101-7
ISSN: 1938-5862
KITopen-ID: 170093569
HGF-Programm 43.16.02 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for microscopy a.spect.
Erschienen in Atomic Layer Deposition Applications 9, held during the 224th Meeting of the Electrochemical Society, San Francisco, Calif., October 27 - November 1, 2013. Ed.: F. Roozeboom
Verlag Electrochemical Society
Seiten 59-66
Serie ECS Transactions ; 58,10
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