| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3555-6 KITopen-ID: 170094210 |
| HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
| Erschienen in | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.-16. Oktober 2013 |
| Veranstaltung | 5. MikroSystemTechnik Kongress (2013), Aachen, Deutschland, 14.10.2013 – 16.10.2013 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 450-452 |