Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3555-6 KITopen-ID: 170094216 |
HGF-Programm | 43.16.01 (POF II, LK 02) KNMF laboratory for micro a.nanostruct. |
Erschienen in | Von Bauelementen zu Systemen: MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 443-446 |