| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3555-6 KITopen-ID: 170094220 |
| HGF-Programm | 47.01.03 (POF II, LK 01) Biologische Schlüselmoleküle IMT |
| Seiten | 391-394 |
| Erscheinungsvermerk | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2013 |