Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2013 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3555-6 KITopen-ID: 170094221 |
HGF-Programm | 43.14.02 (POF II, LK 01) X-Ray-Optics |
Erschienen in | Von Bauelementen zu Systemen : MikroSystemTechnik Kongress 2013, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013 |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 453-456 |