Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2013 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-3555-6 KITopen-ID: 170094641 |
| HGF-Programm | 43.12.01 (POF II, LK 01) Tailored properties of nanomaterials |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2013: Von Bauelementen zu Systemen, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013. Hrsg.: GMM |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 309-312 |