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Herstellung ferroelektrischer Dünnschichten mittels direkter UV-Lithografie

Benkler, M.; Paul, F.; Hanemann, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffprozesstechnik (IAM-WPT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2013
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-3555-6
KITopen ID: 170094641
HGF-Programm 43.12.01; LK 01
Erschienen in MikroSystemTechnik Kongress 2013: Von Bauelementen zu Systemen, Aachen, 14.- 16.Oktober 2013. Hrsg.: GMM
Verlag VDE-Verlag, Berlin
Seiten 309-312
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