Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2014 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-6284-1078-5 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 170095637 |
HGF-Programm | 43.13.01 (POF II, LK 01) Structuring |
Erschienen in | Micro Optics 2014 : Proceedings of Photonics Europe, Bruxelles, B, April 14-17, 2014. Ed.: H. Thienpont |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Article no 913008 |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9130 |
Nachgewiesen in | Scopus |