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A design framework for micro devices manufactured by a modular multi-process platform

Gleadall, A.; Vladov, N.; Kimmig, D.; Plasch, M.; Dickerhof, M.; Segal, J.; Ratchev, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2014
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170097343
HGF-Programm 43.14.03; LK 01
Erschienen in 9th International Workshop on Microfactories (IWMF 2014), Honolulu, HI, October 5-8, 2014
Seiten 216-222
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