| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2014 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170099475 |
| HGF-Programm | 43.14.03 (POF II, LK 01) System integration |
| Erschienen in | 115. Tagung, DGoA Proceedings 2014, B14, 10.-14.06.2014, Karlsruhe |
| Verlag | Deutsche Gesellschaft für angewandte Optik (DGaO) |
| Seiten | 2 S. |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |