| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4799-8954-6 KITopen-ID: 170101811 |
| HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
| Erschienen in | Proceedings of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 718-721 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Scopus Dimensions |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |