Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4799-8955-3 KITopen-ID: 170102094 |
HGF-Programm | 47.02.07 (POF III, LK 01) Zellpopul.auf Biofunk.Oberflächen IMT |
Erschienen in | Proceedings of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 2160-2163 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |