A latchable thermally activated phase change actuator and optimization of its response behaviour
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-4799-8955-3 KITopen-ID: 170102094 |
| HGF-Programm | 47.02.07 (POF III, LK 01) Zellpopul.auf Biofunk.Oberflächen IMT |
| Erschienen in | Proceedings of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |
| Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
| Seiten | 2160-2163 |
| Nachgewiesen in | Scopus Dimensions |