Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Maschinenbau (MACH) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) Institut für Angewandte Materialien - Werkstoffkunde (IAM-WK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Jahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170102695 |
HGF-Programm | 49.01.08 (POF III, LK 02) |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |
Verlag | VDE-Verlag, Berlin |
Seiten | 376-379 |