Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-4799-8954-6 KITopen-ID: 170102752 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | Proceedings of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Transducers (Transducers 2015), Anchorage, Alaska, June 21-25, 2015 |
Verlag | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Seiten | 726-729 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |