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SMARTLAM - A modular, flexible, scalable, and reconfigurable system for manufacturing of microsystems

Scholz, S.; Mueller, T.; Plasch, M.; Limbeck, H.; Iseringhausen, T.; Dickerhof, M.; Schmidt, A.; Woegener, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-1-61208-437-4
KITopen ID: 170102928
HGF-Programm 43.22.03; LK 01
Erschienen in INTELLI 2015 : 4th International Conference on Intelligent Systems and Applications, St.Julians, Malta, October 11-16, 2015 . Ed.: I. Schwab
Verlag IARIA, Wilmington, NC
Seiten 140-141
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