Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen

; Markus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2015
Sprache	Deutsch
Identifikator	ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170103076
HGF-Programm	43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics
Erschienen in	MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015
Verlag	VDE Verlag
Seiten	508-510

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