Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170103076 |
| HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 508-510 |