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Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der Röntgentiefenlithographie

Last, A.; Börner, M.; Marschall, F.; Meyer, P.; Simon, M.; Markus, O.; Georgi, S.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4100-7
KITopen ID: 170103078
HGF-Programm 43.23.02; LK 01
Erschienen in MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 Proceedings
Verlag VDE-Verlag, Berlin
Seiten 384-386
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