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Microfabrication of high permittivity metamaterials with tall metal inclusion in thick photoresist layers

Aligodarz, M.T.; Klymyshyn, D.M.; Börner, M.; Matthis, B.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Englisch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4100-7
KITopen ID: 170103082
HGF-Programm 49.01.02; LK 02
Erschienen in MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 Proceedings
Verlag VDE-Verlag, Berlin
Seiten 400-402
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