Microfabrication of high permittivity metamaterials with tall metal inclusion in thick photoresist layers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170103082 |
| HGF-Programm | 49.01.02 (POF III, LK 02) IMT-KNMF Structuring Lab |
| Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 Proceedings |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 400-402 |