Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170103084 |
HGF-Programm | 43.23.02 (POF III, LK 01) X-Ray Optics |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 Proceedings |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 282-285 |