| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 978-1-6284-1441-7 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 170103322 |
| HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
| Erschienen in | Laser-based Micro- and Nanoprocessing IX : Proceedings of SPIE Photonics West, San Francisco, Calif., February 7-12, 2015. Ed.: U. Klotzbach |
| Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
| Seiten | Article no 93510K |
| Serie | Proceedings of SPIE ; 9351 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex Dimensions Scopus |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |