Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Materialien – Angewandte Werkstoffphysik (IAM-AWP) Karlsruhe Nano Micro Facility (KNMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | ISBN: 978-1-6284-1441-7 ISSN: 0277-786X KITopen-ID: 170103328 |
HGF-Programm | 37.01.02 (POF III, LK 01) Components and Cells |
Erschienen in | Laser-based Micro- and Nanoprocessing IX : Proceedings of SPIE Photonics West, San Francisco, Calif., February 7-12, 2015. Ed.: U. Klotzbach |
Verlag | Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (SPIE) |
Seiten | Paper 93511D |
Serie | Proceedings of SPIE ; 9351 |
Nachgewiesen in | Dimensions Scopus |
Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |