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Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Dietrich, P.I.; Wondimu, S.F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.; Lindenmann, N.; Billah, M.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.

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DOI: 10.5445/IR/170103423
Veröffentlicht am 04.05.2018
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4100-7
urn:nbn:de:swb:90-AAA1701034235
KITopen-ID: 170103423
HGF-Programm 43.23.03 (POF III, LK 01)
Erschienen in MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe. Ed.: V. Saile
Verlag VDE-Verlag, Berlin
Seiten 187-189
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