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Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Dietrich, P.I.; Wondimu, S.F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.; Lindenmann, N.; Billah, M.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4100-7
KITopen ID: 170103423
HGF-Programm 43.23.03; LK 01
Erschienen in MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 Proceedings
Verlag VDE-Verlag, Berlin
Seiten 187-189
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