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Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Dietrich, P.I.; Wondimu, S.F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.; Lindenmann, N.; Billah, M.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.

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DOI: 10.5445/IR/170103423
Veröffentlicht am 04.05.2018
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ)
Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2015
Sprache Deutsch
Identifikator ISBN: 978-3-8007-4100-7
urn:nbn:de:swb:90-AAA1701034235
KITopen-ID: 170103423
HGF-Programm 43.23.03 (POF III, LK 01) Teratronics
Erschienen in MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe. Ed.: V. Saile
Verlag VDE Verlag
Seiten 187-189
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