Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-Polymerisation
Dietrich, P. I.; Wondimu, S. F.; Wienhold, T.; Steidle, M.; Hofmann, A.
; Lindenmann, N.; Billah, M.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.
; Lindenmann, N.; Billah, M.; Hoose, T.; Blaicher, M.; Freude, W.; Koos, C.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Photonik und Quantenelektronik (IPQ) Universität Karlsruhe (TH) – Interfakultative Einrichtungen (Interfakultative Einrichtungen) Karlsruhe School of Optics & Photonics (KSOP) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2015 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 urn:nbn:de:swb:90-AAA1701034235 KITopen-ID: 170103423 |
| HGF-Programm | 43.23.03 (POF III, LK 01) Teratronics |
| Erschienen in | MEMS, Mikroelektronik, Systeme : proceedings ; MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26.-28. Oktober 2015 in Karlsruhe. Ed.: V. Saile |
| Verlag | VDE Verlag |
| Seiten | 187-189 |