Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170103429 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 270-273 |