Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Angewandte Materialien – Werkstoffkunde (IAM-WK) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2015 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | ISBN: 978-3-8007-4100-7 KITopen-ID: 170103435 |
HGF-Programm | 43.22.01 (POF III, LK 01) Functionality by Design |
Erschienen in | MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, 26.-28.Oktober 2015 |
Verlag | VDE Verlag |
Seiten | 781-784 |