Influence of secondary effects on the structure quality in deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 17095 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nuclear Instruments and Methods B |
| Band | 97 |
| Seiten | 551-56 |
| Erscheinungsvermerk | Nucl. instrum. and meth. in phys. res. B 97 (1995) S. 551-556. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S184 |