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Etching nanometer sized holes of variable depth from carbon cluster impact induced defects on graphite surfaces

Braeuchle, Götz 1; Richard-Schneider, Sabine 1; Illig, Dieter 1; Rockenberger, Jörg 1; Beck, Rainer D. 1; Kappes, Manfred M. 1
1 Universität Karlsruhe (TH)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1063/1.115490
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Zitationen: 53
Dimensions
Zitationen: 50
Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie – Institut für Physikalische Chemie und Elektrochemie (Inst. f. Physikal. Chemie u. Elektrochem.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0003-6951
KITopen-ID: 171895
Erschienen in Applied Physics Letters
Verlag American Institute of Physics (AIP)
Band 67
Heft 52
Seiten 52-54
Nachgewiesen in Dimensions
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