Assembly for micromechanics and LIGA

Schomburg, Werner Karl; Maas, Dieter; Bacher, Walter; Bustgens, Burkhard; Fahrenberg, Jens; Menz, Wolfgang; Seidel, D.

doi:10.1088/0960-1317/5/2/002

Assembly for micromechanics and LIGA

Schomburg, Werner Karl; Maas, Dieter ¹; Bacher, Walter; Bustgens, Burkhard; Fahrenberg, Jens; Menz, Wolfgang; Seidel, D.
¹ Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT), Karlsruher Institut für Technologie (KIT)

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DOI: 10.1088/0960-1317/5/2/002

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1995
Sprache	Englisch
Identifikator	ISSN: 0960-1317, 1361-6439 KITopen-ID: 17195
HGF-Programm	41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in	Journal of micromechanics and microengineering
Verlag	Institute of Physics Publishing Ltd (IOP Publishing Ltd)
Band	5
Heft	2
Seiten	57-63
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 95S185

Repository KITopen

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