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Assembly for micromechanics and LIGA

Schomburg, Werner Karl; Maas, D.; Bacher, Walter; Buestgens, Burkard; Fahrenberg, Jens; Menz, Wolfgang; Seidel, D.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 17195
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 5
Erscheinungsvermerk J. of micromech. and microengng. 5 (1995) S. 57-63.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S185
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