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LIGA-made pneumatically driven micro-actuator for use in a micro testing system

Ruther, P.; Bacher, Walter; Feit, K.; Heckele, M.; Weindel, K.



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 17295
Erscheinungsvermerk In: Micro system technologies '94. Ed.: H. Reichl. Berlin 1994. S. 899-906.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S186
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