LIGA-made pneumatically driven micro-actuator for use in a micro testing system
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 17295 |
| Erscheinungsvermerk | In: Micro system technologies '94. Ed.: H. Reichl. Berlin 1994. S. 899-906. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S186 |