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FTIR spectroscopy for the analysis of selected exhaust gas flows in silicon technology

Guber, Andreas; Koehler, Uwe



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1995
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 17495
HGF-Programm 41.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Journal of Molecular Structure
Band 348
Seiten 209-12
Erscheinungsvermerk J. of mol. struct. 348 (1995) S. 209-212.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S188
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