FTIR spectroscopy for the analysis of selected exhaust gas flows in silicon technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0166-1280, 0022-2860, 1872-8014 KITopen-ID: 17495 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of molecular structure |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 348 |
| Seiten | 209-212 |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S188 |