Entwicklung von magnetron-gesputterten B-C-N-Schichten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | ISSN: 0947-8620 KITopen-ID: 17499 Reportnummer: FZKA-6301 |
| HGF-Programm | 42 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Umfang | II, 139 S. |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 6301 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 22.1.1999 |
| Prüfungsdatum | 22.01.1999 |
| Referent/Betreuer | Holleck, H. Zum Gahr, K. H. |