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Entwicklung von magnetron-gesputterten B-C-N-Schichten

Kratzsch, Axel


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/17499
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 17499
Reportnummer: FZKA-6301
HGF-Programm 42 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1999. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 6301.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 22.1.1999.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Prüfungsdaten Diss. v. 22.1.1999
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