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Industrielle Nutzung der Röntgenstrahlung für die Mikrosystemtechnik

Menz, Wolfgang; Mohr, Jürgen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 17595
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 577-89
Erscheinungsvermerk In: Forschung mit Röntgenstrahlen. Hrsg.: F.H.W. Heuck. Berlin 1995. S. 577-589.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 95S189
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