Industrielle Nutzung der Röntgenstrahlung für die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 17595 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 577-89 |
| Erscheinungsvermerk | In: Forschung mit Röntgenstrahlen. Hrsg.: F.H.W. Heuck. Berlin 1995. S. 577-589. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S189 |