| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 17695 |
| HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
| Band | 27 |
| Seiten | 155-64 |
| Erscheinungsvermerk | Nachr., Forschungszentrum Karlsruhe 27 (1995) S. 155-164. |