Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 17695 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Erschienen in | Nachrichten - Forschungszentrum Karlsruhe |
Band | 27 |
Seiten | 155-64 |
Erscheinungsvermerk | Nachr., Forschungszentrum Karlsruhe 27 (1995) S. 155-164. |