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Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen

Leyendecker, Klaus; Bacher, Walter; Bade, K.; Stark, W.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/17895
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Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 17895
Reportnummer: FZKA-5594
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5594.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 13.2.1995 von Klaus Leyendecker.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 13.2.1995
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