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Untersuchungen zum Stofftransport bei der Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen

Leyendecker, Klaus; Bacher, Walter; Bade, K. ORCID iD icon; Stark, W.


Volltext §
DOI: 10.5445/IR/17895
Cover der Publikation
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Publikationsjahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 17895
Reportnummer: FZKA-5594
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Verlag Universität Karlsruhe (TH)
Erscheinungsvermerk Karlsruhe 1995. (Wissenschaftliche Berichte. FZKA. 5594.) Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 13.2.1995 von Klaus Leyendecker.
Art der Arbeit Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 13.2.1995
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