Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA- Mikromechanik
Strohrmann, Manfred; Mohr, Jürgen; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA179950 KITopen-ID: 17995 Reportnummer: FZKA-5561 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5561 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 27.10.1994 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |
| Globale Ziele für nachhaltige Entwicklung |
