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Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA- Mikromechanik

Strohrmann, Manfred; Mohr, Jürgen; Schulz, J.

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Volltext §
DOI: 10.5445/IR/17995
Coverbild
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1995
Sprache Deutsch
Identifikator urn:nbn:de:swb:90-AAA179950
KITopen-ID: 17995
Reportnummer: FZKA-5561
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Serie Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5561
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 27.10.1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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