| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Hochschulschrift |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA180956 KITopen-ID: 18095 Reportnummer: FZKA-5504 |
| HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
| Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
| Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5504 |
| Art der Arbeit | Dissertation |
| Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
| Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Prüfungsdaten | Diss. v. 24.10.1994 |
| Nachgewiesen in | OpenAlex |