Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Hochschulschrift |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | urn:nbn:de:swb:90-AAA180956 KITopen-ID: 18095 Reportnummer: FZKA-5504 |
HGF-Programm | 41.03.03 (Vor POF, LK 01) |
Verlag | Universität Karlsruhe (TH) |
Serie | Wissenschaftliche Berichte. FZKA ; 5504 |
Art der Arbeit | Dissertation |
Fakultät | Fakultät für Maschinenbau (MACH) |
Institut | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Prüfungsdaten | Diss. v. 24.10.1994 |