Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
Publikationsjahr | 1995 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 18195 |
Erscheinungsvermerk | J. of vac. sci. and technol. B 12 (1994) S. 3171-3175. |
Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S133 |