| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1995 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 18195 |
| Erscheinungsvermerk | J. of vac. sci. and technol. B 12 (1994) S. 3171-3175. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 95S133 |