KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Grundlegende Untersuchungen zur Fertigung gestufter Mikrostrukturen aus fluorierten Polymeren nach dem LIGA-VErfahren

Kalb, Helmut



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Hochschulschrift
Jahr 1994
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 182094
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Fak. f. Maschinenbau, Diss. v. 18.5.1994.
Abschlussart Dissertation
Fakultät Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Prüfungsdaten Diss. v. 18.5.1994
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page