| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Technik der Informationsverarbeitung (ITIV) |
| Publikationstyp | Buchaufsatz |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 18452001 |
| Erscheinungsvermerk | In: Konferenzband. 5. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz 2001. Chemnitz 2001. S. 105-108. |