Zugehörige Institution(en) am KIT | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik – Institut für Höchstfrequenztechnik und Elektronik (IHE) |
Publikationstyp | Buchaufsatz |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 190099 |
Erscheinungsvermerk | In: 13th Topical Conference on Applications of Radio Frequency Power to Plasmas, Annapolis, Md. 1999. S. 229-236. |