Fabrication of a planar grating spectrograph by deep-etch lithography with synchrotron radiation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 190192 |
| Erscheinungsvermerk | Sensors and actuators A 25/27 (1991) S. 571-575. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S85 |