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Fabrication of a planar grating spectrograph by deep-etch lithography with synchrotron radiation

Mohr, Juergen; Anderer, Boris; Ehrfeld, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 190192
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 25/27 (1991) S. 571-575.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S85
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