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Chemical vapor deposition of silicon nitride filaments from silicon subhydrides and ammonia

Linner, Britta; Guggenberger, Mike A.; Huettinger, Klaus J.; Kleebe, H.-J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 19196
Erscheinungsvermerk J. of the Eur. Ceram. Soc. 16 (1996) S. 15.
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