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Chemical vapor deposition of silicon nitride filaments from silicon subhydrides and ammonia

Linner, Britta; Guggenberger, Mike A.; Huettinger, Klaus J.; Kleebe, H.-J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Chemie und Biowissenschaften – Institut für Chemische Technik (Inst. f. Chem. Tech.)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1996
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 19196
Erscheinungsvermerk J. of the Eur. Ceram. Soc. 16 (1996) S. 15.
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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