Fabrication of electrostatic microdevices by the LIGA technique

Burbaum, Christoph; Mohr, Juergen; Bley, Peter; Menz, Wolfgang

Seitenaufrufe: 32
seit 08.09.2018

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 194792
Erscheinungsvermerk	Sensors and mater. 3 (1991) S. 75-85.
Bemerkung zur Veröffentlichung	Sonderdrucknummer 93S86