KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Fabrication of electrostatic microdevices by the LIGA technique

Burbaum, Christoph; Mohr, Juergen; Bley, Peter; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 194792
Erscheinungsvermerk Sensors and mater. 3 (1991) S. 75-85.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S86
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page