Fabrication of electrostatic microdevices by the LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 194792 |
| Erscheinungsvermerk | Sensors and mater. 3 (1991) S. 75-85. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S86 |