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Fabrication of capacitive acceleration sensors by the LIGA technique

Burbaum, Christoph 1; Mohr, Juergen 1; Bley, Peter 1; Ehrfeld, Wolfgang
1 Forschungszentrum Karlsruhe (FZKA)


Originalveröffentlichung
DOI: 10.1016/0924-4247(91)87051-4
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Zitationen: 52
Dimensions
Zitationen: 64
Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Publikationsjahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen-ID: 194892
HGF-Programm 16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erschienen in Sensors and Actuators A
Verlag Elsevier
Band 27
Heft 1-3
Seiten 559-63
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 25/27 (1991) S. 559-563.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S87
Nachgewiesen in Dimensions
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