Fabrication of capacitive acceleration sensors by the LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISSN: 0924-4247 KITopen-ID: 194892 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Sensors and Actuators A |
| Verlag | Elsevier |
| Band | 27 |
| Heft | 1-3 |
| Seiten | 559-63 |
| Erscheinungsvermerk | Sensors and actuators A 25/27 (1991) S. 559-563. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S87 |
| Nachgewiesen in | Dimensions Web of Science Scopus |