KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Fabrication of capacitive acceleration sensors by the LIGA technique

Burbaum, Christoph; Mohr, Juergen; Bley, Peter; Ehrfeld, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator ISSN: 0924-4247
KITopen ID: 194892
HGF-Programm 16.04.01; LK 01
Erschienen in Sensors and Actuators A
Band 27
Heft 1-3
Seiten 559-63
Erscheinungsvermerk Sensors and actuators A 25/27 (1991) S. 559-563.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S87
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page