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Molding plateable micropatterns of electrically insulating and electrically conducting poly(methyl methacrylate)s by the LIGA technique

Harmening, Michael; Bacher, Walter; Menz, Wolfgang



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Buchaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 195092
Erscheinungsvermerk In: Polymeric functional and structural materials. Ed.: C.D. Eisenbach. Basel 1991. S. 277-284. (Die makromolekulare Chemie. Macromolecular symposia. 50.)
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S89
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