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LIGA-based flexible microstructures for fiber-chip coupling

Rogner, A.; Ehrfeld, Wolfgang; Muenchmeyer, D.; Bley, Peter; Burbaum, Christoph; Mohr, Juergen



Zugehörige Institution(en) am KIT Fakultät für Maschinenbau (MACH)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Zeitschriftenaufsatz
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 195792
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erschienen in Journal of Micromechanics and Microengineering
Band 1
Seiten 167-70
Erscheinungsvermerk J. of micromech. and microengng. 1 (1991) S. 167-170.
Bemerkung zur Veröffentlichung Sonderdrucknummer 93S93
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