LIGA-based flexible microstructures for fiber-chip coupling
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Zeitschriftenaufsatz |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 195792 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erschienen in | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Band | 1 |
| Seiten | 167-70 |
| Erscheinungsvermerk | J. of micromech. and microengng. 1 (1991) S. 167-170. |
| Bemerkung zur Veröffentlichung | Sonderdrucknummer 93S93 |